超純水機已被廣泛運用于電子、電力、化工、電鍍、鍋爐補給、實驗室及醫(yī)藥等眾多領(lǐng)域。因為不同行業(yè)不同領(lǐng)域?qū)λ|(zhì)的要求有所不同，所以超純水設(shè)備產(chǎn)出的超純水也是有所差別的。以下是各種超純水的水質(zhì)要求及其制水工藝方法簡介。

超純水是水中電解質(zhì)幾乎全部去除，水中不溶解的膠體物質(zhì)、微生物、微粒、有機物、溶解氣體降至很低程度，都是經(jīng)過膜過濾或混合床等終端精處理的水。

目前，我國電子工業(yè)部把工業(yè)超純水水質(zhì)技術(shù)分為五個行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區(qū)分不同水質(zhì)。

制備超純水的方法通常采用反滲透，去離子或電去離子（EDI）等工藝。在水質(zhì)要求達(dá)10MΩ.cm以上，通常采用不同的工藝進行組合搭配的方法來制取，例如采用反滲透加去離子，反滲透加EDI等。

電導(dǎo)率在1us/cm—10us/cm之間的超純水也即電阻值在0.1兆歐到1兆歐之間，這種水大都應(yīng)用在對水質(zhì)要求不是太嚴(yán)的場所，例如普通的清洗用水，普通配液用水、化學(xué)配置用水等。這種純水可以采用一級或兩級反滲透工藝來制取，傳統(tǒng)的方法是用蒸餾法，但因能耗太大而大都改用反滲透膜法來制取這樣要求不是太高的純水。

電導(dǎo)率在0.1us/cm—1us/cm(電阻值1-10兆歐）之間的超純水，這種純水應(yīng)用在對水質(zhì)相對較嚴(yán)格的場所，例如大多數(shù)電子線路板的清洗用水、普通電鍍用水、電廠用水、普通化學(xué)試劑的配制用水及廣大涂料用水等。這種純水的制備大都采用一級反滲透再后面加去離子設(shè)備，也有采用前級加砂、炭過濾作預(yù)處理，后面再用陰床、陽床、再加復(fù)床來制取的。兩種工藝比較而言，采用反滲透加去離子工藝初投資較大，但設(shè)備維護簡便，再生周期要長得多，而且運行穩(wěn)定。

電導(dǎo)率低于0.1us/cm的超純水也即電阻值在10兆歐以上，這種純水應(yīng)用在對水質(zhì)特別嚴(yán)格的場所，例如大多數(shù)高精度電子線路板的清洗用水，電池行業(yè)配液用水，醫(yī)藥用生理注射用水等。這種純水的制備大都采用一級反滲透再后面加電去離子（EDI）設(shè)備，也有采用反滲透作一級處理，后面再用離子設(shè)備來制取超純水，但后級必須用拋光離子樹脂作后級處理。兩種工藝比較而言，采用反滲透加電去離子工藝初投資較大，但設(shè)備維護簡便，節(jié)能環(huán)保，而且運行穩(wěn)定。