預處理部分：包括砂濾器、活性炭過濾器和軟化器。應定期進行沖洗和維護，如對砂過濾器和活性炭過濾器進行正反沖洗，對軟化器進行氯化鈉再生以增強樹脂的軟化水強度。 

反滲透主機：檢查設備是否具備自動沖洗功能，定期對反滲透膜進行沖洗，以清除膜上的污染物。壓力不宜過高，以確保有效清洗。 

EDI裝置：確保EDI裝置不會缺水運行，以防止設備損壞和潛在的安全風險。 

其他部件：包括電機、泵、閥門、管道等，應定期檢查和潤滑，確保它們的正常運行。如果發(fā)現(xiàn)問題，應及時修理或更換。 

濾芯更換：超純水設備中的濾芯需要定期更換，以保持過濾效果和水質純度。根據(jù)實際情況，可以設定更換周期或通過監(jiān)測關鍵參數(shù)（如電導率）來確定更換時間。 

監(jiān)測關鍵參數(shù)：定期監(jiān)測水質純度、電導率等關鍵參數(shù)，以便及時發(fā)現(xiàn)水質異常并采取相應措施。 

設備清潔：保持設備的清潔，及時消除滴漏問題，

檢查接頭和水管：定期檢查所有接頭和水管，確保沒有松動或損壞，并注意防凍。 

檢查水泵和高壓泵：定期檢查水泵和高壓泵的運行情況

檢查電控箱接頭：定期檢查電控箱接頭是否有脫落或斷開現(xiàn)象，確保用電安全。